潔凈室的四大技術(shù)要素：

一、送風(fēng)至少經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾（粗效、中效和高效），并且高效過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在系統(tǒng)的末端。

二、潔凈室應(yīng)有足夠的凈化和空調(diào)的送風(fēng)量。

三、潔凈室應(yīng)維持必要的壓力梯度（正壓梯度或負(fù)壓梯度）。

四、潔凈室應(yīng)有合理的氣流組織。

凈化空調(diào)—醫(yī)院手術(shù)潔凈室實(shí)例https://www.zhihu.com/video/1192746113617293312單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。

垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級(jí)、10級(jí)、1級(jí)或更高潔凈級(jí)別。但其初投資很高、運(yùn)行費(fèi)很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。

水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍汀Ｔ摎饬骺蓜?chuàng)造100級(jí)的凈化級(jí)別。其初投資和運(yùn)行費(fèi)低于垂直單向流流型。

非單向流潔凈室：

非單向流潔凈室的氣流流型又可分為頂送下回；頂送下側(cè)回；頂送頂回等。

非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過(guò)濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)；回風(fēng)的型式有下部回風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)和頂部回風(fēng)等。依不同送風(fēng)換氣次數(shù)，實(shí)現(xiàn)不同的凈化級(jí)別，其初投資和運(yùn)行費(fèi)用也不同。

混合流潔凈室：

混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。這種氣流的特點(diǎn)是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運(yùn)行費(fèi)。

矢流（對(duì)角流）潔凈室：

選上側(cè)圓弧型高效過(guò)濾器風(fēng)口送風(fēng)，對(duì)側(cè)下回風(fēng)口回風(fēng)的氣流流型。

矢流潔凈室的氣流是以放射型的流線流出，流線之間沒(méi)有豎向交叉，可用相對(duì)少量的送風(fēng)獲得較高級(jí)別的潔凈度。多用在醫(yī)藥、醫(yī)療和電子等行業(yè)的小潔凈室中。在某些特殊的實(shí)驗(yàn)室中也得到廣泛的應(yīng)用。

各種氣流流型潔凈室的風(fēng)量、冷量、初投資和運(yùn)行費(fèi)的比較（僅供參考）

不同潔凈級(jí)別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo)

注：表中的送風(fēng)量、單向流以斷面風(fēng)速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。

表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動(dòng)控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。

按潔凈室主要控制對(duì)象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室；生物潔凈室。

工業(yè)潔凈室：

工業(yè)潔凈室主要的控制對(duì)象是灰塵粒子（不分有生命的、無(wú)生命的）。

工業(yè)潔凈室主要應(yīng)用在電子、航天、航空、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開(kāi)潔凈室和潔凈技術(shù)。

生物潔凈室：

生物潔凈室主要控制對(duì)象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等對(duì)人類、動(dòng)物、環(huán)境有害的粒子。

生物潔凈室廣泛地應(yīng)用在醫(yī)療（潔凈手術(shù)室、潔凈病房）、生物制藥、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、衛(wèi)生防疫檢疫的事業(yè)中。生物潔凈室的發(fā)展速度非常快，而且得到了各方的認(rèn)同和重視。

工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表

潔凈室潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：

ISO-14644是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國(guó)、歐洲、日本、俄羅斯和我國(guó)都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國(guó)原來(lái)應(yīng)用的是美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國(guó)也不用了。原來(lái)我們熟悉的100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)都是源自美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209B，現(xiàn)在它們分別被國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級(jí)、6級(jí)、7級(jí)和8級(jí)所替代。

ISO-14644的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)列如下：

潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(jí)

注：① 每點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。

③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。

④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）：

（個(gè)/m3）

式中，N為潔凈度等級(jí)在1~9級(jí)中間可以0.1為最小單位遞增量插入。

國(guó)標(biāo)潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國(guó)潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的比較如下：

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的比較表

注：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E已經(jīng)停止使用。

潔凈室的消防、節(jié)能和環(huán)保：

潔凈室的消防：

一、潔凈室建筑不利于防火的因素：

1、空間密閉、圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性好，一旦火災(zāi)溫度會(huì)迅速上升，大量煙氣不易排出，令人窒息又不利于疏散和撲救。

2、潔凈室建筑內(nèi)各種關(guān)卡多，對(duì)外出口少，疏散通道不暢，延長(zhǎng)了疏散距離和時(shí)間。

3、潔凈室建筑裝修有一些高分子的合成材料會(huì)產(chǎn)生濃煙和毒氣。工藝生產(chǎn)中往往會(huì)使用大量的易燃易爆的化學(xué)物質(zhì)也是潔凈室潛在的火災(zāi)威脅。

因此潔凈室的防火和人員疏散非常重要。

二、潔凈室建筑耐火等級(jí)

1、甲乙類潔凈室建筑的耐火等級(jí)應(yīng)為一級(jí)或二級(jí)，宜為單層建筑，其最大占地面積不易超過(guò)3000m2。

2、丙、丁、戊類潔凈室建筑的耐火等級(jí)可為一級(jí)或二級(jí)，可為單層或多層，除丙類建筑占地面積不應(yīng)超過(guò)8000m2（單層、二級(jí)）；6000m2（多層、二級(jí)）；4000m2（多層、三級(jí)）外，丁類和戊類占地面積不限。

三、潔凈室人員的安全疏散

在進(jìn)行潔凈室平面規(guī)劃時(shí)考慮人員疏散的原則

1、疏散路線要簡(jiǎn)捷明了，便于尋找和識(shí)別。

2、疏散路線要做到步步安全（著火房間→房間門→疏散走道→樓梯間→室外）。

3、撲救線路不要與疏散路線交叉。

4、疏散通道要通暢，少曲線，少高低不平，少寬窄變化。

5、疏散方向至少有2個(gè)可供人員疏散。

6、疏散門的開(kāi)啟方向應(yīng)有利于人員的疏散逃生。

四、潔凈室建筑材料的防火

1、潔凈室內(nèi)部的裝修材料應(yīng)盡量避免采用在燃燒時(shí)產(chǎn)生大量濃煙和有毒氣體的高分子合成材料。根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”規(guī)定：潔凈室的頂棚和壁板（包括夾心材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。

2、特別要重視參觀走廊的隔墻（包括大面積玻璃窗）的耐火極限問(wèn)題。

3、技術(shù)豎井的井壁的耐火極限也不應(yīng)低于1.0 h。

潔凈室的水消防：

一、室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)

室內(nèi)、外消火栓供水系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室生產(chǎn)工作間火災(zāi)危險(xiǎn)性類別，建筑物的耐火等級(jí)以及建筑物的體積等因素目前應(yīng)根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”確定，當(dāng)“消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范”頒布后應(yīng)按新規(guī)范執(zhí)行。

二、自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)

自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室的火災(zāi)危險(xiǎn)性等級(jí)和“自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”確定。自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。

三、潔凈室各個(gè)場(chǎng)所必須配置滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足“建筑滅火器配置規(guī)范”的要求。除消防給水外，還應(yīng)設(shè)置必要?dú)怏w滅火系統(tǒng)等。

潔凈室電氣消防：

一、潔凈室的電源和供配電

根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。

1、消防電源的負(fù)荷分級(jí)應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)“供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。

2、消防用電的設(shè)備應(yīng)采用專用的供電回路，當(dāng)生產(chǎn)、生活用電切斷時(shí)，應(yīng)仍能保證消防用電，其配電設(shè)備應(yīng)有明顯的標(biāo)志。

3、消防用電設(shè)備的管線應(yīng)滿足火災(zāi)時(shí)連續(xù)供電，并且管線應(yīng)有防火要求。

4、消防應(yīng)急照明燈具和疏散指示標(biāo)志燈的備用電源的連續(xù)供電時(shí)間應(yīng)滿足實(shí)際消防要求。

二、潔凈室的消防照明

1、潔凈室內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散通道的轉(zhuǎn)角處應(yīng)按“規(guī)范”設(shè)置疏散標(biāo)志（疏散指示燈）。

2、在專用的消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。

3、消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機(jī)房、配電室、防排煙機(jī)房以及發(fā)生火災(zāi)時(shí)仍需正常堅(jiān)持工作的其他房間應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明。

三、潔凈室的消防報(bào)警和控制

1、潔凈室的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器（感溫探測(cè)器、感煙探測(cè)器或空氣采樣器等），及早預(yù)知、早報(bào)警。

2、潔凈室生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。

3、潔凈室應(yīng)設(shè)置消防值班室（或控制室），消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。

4、消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠，應(yīng)有合格的顯示功能。

5、消防報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行如下：

消防聯(lián)動(dòng)控制：

① 啟動(dòng)消防水泵（除自控外還應(yīng)設(shè)手動(dòng)控制裝置）。

② 關(guān)閉電動(dòng)防火閥，停止空調(diào)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)、新風(fēng)機(jī)，并收其反饋信號(hào)。

③ 關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門或防火卷簾門。

④ 點(diǎn)亮應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈。

⑤ 手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。

⑥ 啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音器，進(jìn)行人工和自動(dòng)廣播。

⑦ 控制電梯降至首層，并接收反饋信號(hào)。

潔凈室的防排煙：

一、根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求：潔凈室的疏散走廊和面積大于300m2的潔凈室均應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙措施。

二、最新報(bào)批的“電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”中對(duì)潔凈室的防排煙系統(tǒng)的要求作了一些修訂，內(nèi)容是：潔凈廠房的疏散走廊應(yīng)設(shè)置防排煙系統(tǒng)，但對(duì)于大面積的電子工廠的潔凈廠房當(dāng)每50m2內(nèi)不超過(guò)一個(gè)工作人員時(shí)可不設(shè)置防排煙系統(tǒng)。

潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能：

潔凈室的空調(diào)負(fù)荷

潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾部分組成：

一、室內(nèi)負(fù)荷

主要包括：

1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。

2、室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。

3、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。

4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷。

二、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。

三、空氣循環(huán)時(shí)風(fēng)機(jī)（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。

潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)：

一、高級(jí)別潔凈室（100級(jí)，10級(jí)，1級(jí)）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，高達(dá)400~500次/h換氣，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5℃，僅此一項(xiàng)的負(fù)荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250~350 W/m2。因此，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是其一個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

二、服務(wù)于微電子和光電子的高級(jí)別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10~20次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約為400~800 W/m2；個(gè)別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會(huì)更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

三、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級(jí)別潔凈室的第三個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。

四、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對(duì)比較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約25~30 W/m2；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約20~30W/m2；作業(yè)人員負(fù)荷大約10~15 W/m2），這是高級(jí)別潔凈室第四個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施

潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級(jí)別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過(guò)程負(fù)荷三項(xiàng)。這是它的主要矛盾。

一、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施

1、減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。

2、減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量。

3、提高新風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。

二、降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷的節(jié)能措施

1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來(lái)替代全面高凈化。

2、加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。

3、采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。

4、采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。

5、提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。

三、工藝設(shè)備和工藝過(guò)程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問(wèn)題，只能依靠工藝自己來(lái)解決。

四、除上述措施之外，還可采取如下措施

1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度）。

潔凈室的凈化空調(diào)是重點(diǎn)能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時(shí)要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過(guò)高過(guò)嚴(yán)要求。否則，其能耗會(huì)大幅度上升。有專家分析計(jì)算潔凈室內(nèi)溫度放寬1℃時(shí)其能耗可節(jié)省3%左右；其相對(duì)濕度放寬5%時(shí)其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計(jì)算時(shí)安全裕量不應(yīng)留有過(guò)大，否則設(shè)備的耗電會(huì)大大增加，為了今后的發(fā)展最好留有動(dòng)力設(shè)備的空位。

2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程

凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程的優(yōu)化對(duì)節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機(jī)溫升。

在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計(jì)與安裝”的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)圖的例題中的計(jì)算結(jié)果是這樣的：對(duì)于一級(jí)潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)是60 kW，而采用二次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)只有25kW，當(dāng)采用新風(fēng)機(jī)組深冷抽濕處理時(shí)其耗冷量只有20kW。

3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備

① 設(shè)計(jì)建造潔凈室時(shí)要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機(jī)、風(fēng)機(jī)、水泵）。

② 選擇低阻高效的過(guò)濾設(shè)備，風(fēng)機(jī)和水泵的壓頭選擇不宜過(guò)高。

③ 電動(dòng)設(shè)備最好采取變頻措施。

4、低位熱能的利用和廢熱的回收

低位熱能和廢熱回收的潛力非常大。現(xiàn)在很多專家在這方面進(jìn)行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水氣化潛熱的利用；冷凍機(jī)、空壓機(jī)廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。

5、加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫。

6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。

7、采取熱回收，充分利用廢熱。

8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱，如：太陽(yáng)能、地下水、土壤能等。

9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。

潔凈室的環(huán)保工程：

潔凈室的廢水處理

一、工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進(jìn)行處理，處理后的廢水達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。

半導(dǎo)體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學(xué)中和沉淀法處理。其典型流程如下：

二、生物潔凈室特別是生物安全實(shí)驗(yàn)室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應(yīng)按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達(dá)標(biāo)才能排放。

潔凈室的廢氣處理：

一、工業(yè)潔凈室，特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機(jī)廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后方能排到室外。

1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。

2、排放的有機(jī)廢氣超標(biāo)時(shí)必須經(jīng)過(guò)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理達(dá)標(biāo)后再排放有機(jī)廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。

3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過(guò)淋液濕式洗氣吸收塔進(jìn)行中和處理達(dá)標(biāo)排放。

4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。

5、含塵廢氣必須經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。

6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并通過(guò)專用的廢氣處理設(shè)備處理后達(dá)標(biāo)排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。

二、生物潔凈室尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過(guò)過(guò)濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)中效過(guò)濾方能排到室外；P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器過(guò)濾后方能排到室外；P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)兩級(jí)高效過(guò)濾器過(guò)濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進(jìn)袋出的高效過(guò)濾器裝置。

潔凈室設(shè)計(jì)

潔凈室凈化空調(diào)設(shè)計(jì)程序步驟

設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料

一、收集國(guó)家和地方有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

1、潔凈度等級(jí)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644

2、“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2013

3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）

4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）

5、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2013

6、“實(shí)驗(yàn)動(dòng)物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2010

7、“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2011

8、“潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范”GB50591-2010

9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”（制訂中）

10、“民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50736-2012

11、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2016

12、“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50016-2014

二、該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級(jí)主管部門對(duì)報(bào)告的批復(fù)意見(jiàn)；該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書”和建設(shè)方對(duì)該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求、意見(jiàn)和建議。

三、該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。

四、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：

1、潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對(duì)吊頂高度的要求。

2、工藝對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對(duì)濕度及精度、正壓、振動(dòng)、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。

3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等。

4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。

五、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)：

1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。

2、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。

3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。

六、全廠冷源、熱源、電源的情況及供應(yīng)：

1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。有無(wú)加濕用的蒸汽等。

2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。

七、地方消防、環(huán)保部門對(duì)該項(xiàng)目建設(shè)的要求和意見(jiàn)。

八、其他相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動(dòng)力、建筑結(jié)構(gòu)、強(qiáng)電弱電等）的要求和意見(jiàn)。

九、設(shè)計(jì)時(shí)所用的設(shè)備、材料、配件的性能、參數(shù)和價(jià)格的資料。

工藝平面和建筑平面的規(guī)劃：

工藝平面一般由甲方工藝技術(shù)人員根據(jù)工藝流程和工藝設(shè)備以及工藝生產(chǎn)的需要進(jìn)行合理規(guī)劃。

工藝平面規(guī)劃后在滿足工藝平面規(guī)劃的前提下，布置換鞋、更衣、吹淋、廁所等人流輔助生活用房、物流吹淋輔助用房和走廊參觀以及消防疏散等通道，最大限度地保證生產(chǎn)工藝的流程短捷和火災(zāi)時(shí)人員的安全疏散。

凈化空調(diào)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則：

根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對(duì)各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。

一、凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則

1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。

3、有條件時(shí)可將4級(jí)、5級(jí)單向流和6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。

5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。

7、混合后會(huì)產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。

8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。

工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則：

1、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過(guò)大，每個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點(diǎn)數(shù)不宜過(guò)多，這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便，排風(fēng)效果好。

2、一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個(gè)或兩個(gè)以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災(zāi)、凝水、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。

4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。

空調(diào)負(fù)荷計(jì)算（熱濕、風(fēng)量、水力三大平衡計(jì)算）

一、潔凈室的熱負(fù)荷計(jì)算（熱平衡計(jì)算）

1、潔凈室的熱負(fù)荷包括下列各項(xiàng)：

① 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱負(fù)荷計(jì)算： （KW）

式中：Ki— 圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱系數(shù)（W/m2℃）

Fi—潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的面積（m2）

—潔凈室內(nèi)外溫差（℃）

② 室內(nèi)人員的熱負(fù)荷計(jì)算

人員的顯熱負(fù)荷 Q人顯 = n·q人顯（kW）

人員的潛熱負(fù)荷 Q人潛 = n·q人潛（kW）

人員的全熱負(fù)荷 Q人全 = Q人顯+ Q人潛（kW）

式中：n—室內(nèi)的人數(shù)（人）

q顯—每個(gè)人的顯熱負(fù)荷（kW/人）

q潛—每個(gè)人的潛熱負(fù)荷（kW/人）

③ 室內(nèi)的照明負(fù)荷計(jì)算：

（KW）

式中：N—照明設(shè)備的功率（kW）

n0—整流器消耗的功率系數(shù)（n0=1.0~1.2）

n1— 安裝系數(shù)（明裝n1=1.0，暗裝n1=0.6~0.8）

n3—照明設(shè)備的同時(shí)使用系數(shù)。

④ 室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)熱負(fù)荷計(jì)算

電熱設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)熱 = n1n3n4N（kW）

電動(dòng)設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)動(dòng) = n1n2n3N（kW）

電子設(shè)備熱負(fù)荷 Q設(shè)電 = n1n2n3N（kW）

式中：N —設(shè)備的功率

n1—安裝系數(shù)（n1= 0.7~0.9）

n2—負(fù)荷系數(shù)（n2= 0.3~0.7）

n3—同時(shí)使用系數(shù)。

n4— 通風(fēng)保溫系數(shù)。

⑤潔凈室總的熱負(fù)荷計(jì)算

總顯熱負(fù)荷：

總?cè)珶嶝?fù)荷：

二、潔凈室的濕負(fù)荷計(jì)算（濕平衡計(jì)算）

潔凈室的濕負(fù)荷包括下列各項(xiàng)：

1、室內(nèi)人員產(chǎn)濕計(jì)算：

（kg/h）

式中：w人 —每個(gè)人的濕負(fù)荷（kg/h·人）

2、室內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)濕計(jì)算：

（kg/h）

式中：F— 產(chǎn)濕設(shè)備的水蒸發(fā)面積（m2）

—產(chǎn)濕設(shè)備單位面積的水蒸發(fā)量（kg/m2·h）

3、潔凈室總的濕負(fù)荷計(jì)算：

三、潔凈室的風(fēng)量計(jì)算（風(fēng)平衡計(jì)算）

1、潔凈室的送風(fēng)量的計(jì)算

潔凈室的送風(fēng)量不僅僅能消除潔凈室的總的余熱，余濕以保證潔凈室的溫度和相對(duì)濕度；而且，潔凈室的送風(fēng)量還應(yīng)能消除室內(nèi)產(chǎn)生的灰塵等粒子的污染，以保證潔凈室的潔凈度等級(jí)。因此，潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)為消除余熱的送風(fēng)量，消除余濕的送風(fēng)量和消除粒子污染的凈化送風(fēng)量三者之間最大的送風(fēng)量為該潔凈室的送風(fēng)量。

① 消除潔凈室內(nèi)余熱的送風(fēng)量計(jì)算：

（m3/h）

式中：Q顯，Q全—分別為潔凈室的顯熱和全熱負(fù)荷（kW）。

c—空氣的比熱（1.01 kJ/kg·℃）

—空氣的密度（1.2 kg/m3）

—潔凈室的送風(fēng)溫差（℃）

—潔凈室的送風(fēng)焓差（kJ/kg）

② 消除潔凈室內(nèi)余濕的送風(fēng)量計(jì)算：

（m3/h）

式中：W—潔凈室的濕負(fù)荷（g/h）

—空氣的密度（1.2 kg/m3）

—送風(fēng)的絕對(duì)含濕量差（g/kg）

③ 消除（稀釋）室內(nèi)產(chǎn)生粒子的凈化送風(fēng)量計(jì)算：

在一般情況下，由于室內(nèi)產(chǎn)塵量G很難準(zhǔn)確，因此,在工程中都不用上述公式計(jì)算送風(fēng)量。而采用斷面風(fēng)速法（單向流潔凈室）和換氣次數(shù)法（非單向流潔凈室）進(jìn)行凈化送風(fēng)量的計(jì)算。

氣流流型和送風(fēng)量（靜態(tài)）：

注：① 表中換氣次數(shù)適應(yīng)于層高小于4.0m的潔凈室。

② 室內(nèi)人員少、熱源少時(shí)，宜采用下限值。

2、潔凈室的新風(fēng)量計(jì)算：

潔凈室的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充潔凈室的排風(fēng)量和維持潔凈室正壓的泄漏風(fēng)量，同時(shí)還要保證潔凈室內(nèi)工作人員每人每小時(shí)不小于40m3的新鮮空氣量的要求。因此：L新=L排+L正≥n·40（m3/h）

式中：L排— 潔凈室總的排風(fēng)量（m3/h）；

L正—維持潔凈室正壓的總泄漏風(fēng)量（m3/h）

n— 潔凈室內(nèi)人數(shù)。

① 潔凈室內(nèi)設(shè)備局部排風(fēng)量計(jì)算

L排= 3600×F×V（m3/h）

式中：F— 排風(fēng)罩的開(kāi)口面積（m2）

V—開(kāi)口部的平均風(fēng)速（m/s）

② 潔凈室正壓泄漏風(fēng)量計(jì)算：

正壓泄風(fēng)量可用縫隙法和換氣次數(shù)法進(jìn)行計(jì)算：

縫隙法：

式中：q—單位縫隙長(zhǎng)度的漏風(fēng)量可查表（m3/h·m）

l—縫隙長(zhǎng)度（m）；—— 漏風(fēng)系數(shù)。

換氣次數(shù)法可查表得到。

圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量表（m3/h·m）

潔凈室的壓差值與房間換氣次數(shù)表（次/時(shí)）

四、凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計(jì)算（水力平衡計(jì)算）

凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計(jì)算包括水系統(tǒng)和風(fēng)系統(tǒng)的水力計(jì)算兩大部分。水系統(tǒng)（冷凍水和冷卻水系統(tǒng)）的水力計(jì)算，其目的是為了進(jìn)行水系統(tǒng)的阻力平衡（減少失調(diào)）選擇管徑和水泵；風(fēng)系統(tǒng)（送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、新風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)）的水力計(jì)算主要目的是為了確定風(fēng)管的管徑（尺寸）和選擇風(fēng)機(jī)（送風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)）。

系統(tǒng)的水力計(jì)算其實(shí)就是系統(tǒng)的阻力計(jì)算。

系統(tǒng)的總阻力H總=

（Pa）

式中：— 各管段的磨擦阻力（Pa）。

Z：—各部件的局部阻力（Pa）。

1、磨擦阻力：

（Pa）

式中：— 磨擦阻力系數(shù)。

D— 管道的“直徑”（m）

圓形管道D即是圓的直徑。

矩形管道D為當(dāng)量直徑：

a和b均為矩形的邊長(zhǎng)（m）。

v —流體在管道中的平均流速（m/s）。

— 流體的密度（kg/m3）。

L—管道的長(zhǎng)度（m）。

—流體的動(dòng)壓頭（Pa）。

2、局部阻力：

（Pa）

式中：—空調(diào)凈化系統(tǒng)中配件的局部阻力系數(shù)。

七個(gè)典型的空氣處理系統(tǒng)即空氣處理過(guò)程的優(yōu)化：

此方案的凈化空調(diào)機(jī)組（空氣處理機(jī)組AHU）集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風(fēng)管道將全部的送風(fēng)輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過(guò)設(shè)在潔凈室吊頂上的終端高效過(guò)濾器或高效過(guò)濾器送風(fēng)口過(guò)濾后送到潔凈室內(nèi)，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。

此方案又可分為全新風(fēng)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）；一次回風(fēng)方案；一、二次回風(fēng)方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風(fēng)型式。

這種送風(fēng)方案是當(dāng)前潔凈室特別是非單向流潔凈室應(yīng)用最廣泛的凈化空調(diào)送風(fēng)方案。這種送風(fēng)方案的系統(tǒng)劃分明確，風(fēng)量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。

但是潔凈度級(jí)別較高、送風(fēng)量較大時(shí)，存在著空調(diào)機(jī)房占面積大，送、回風(fēng)管體積大占面積和占空間大，送、回風(fēng)管道長(zhǎng)，送風(fēng)機(jī)的余壓高，噪音大,風(fēng)量輸送耗電量大等問(wèn)題。因此，這種送風(fēng)方案較適用在低級(jí)別的非單向流潔凈室的送風(fēng)，對(duì)5級(jí)以上的單向流潔凈室送風(fēng)就不太經(jīng)濟(jì)合理了。

一、AHU全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）

全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案是用于特殊的不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)等級(jí)或工藝過(guò)程產(chǎn)生有劇毒等有害物不允許回風(fēng)的潔凈送風(fēng)系統(tǒng)中。其原理圖和焓濕圖如下。

二、AHU 一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案

一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)量大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級(jí)的非單向流潔凈室中。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

三、MAU+RAU的凈化空調(diào)送風(fēng)方案

此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來(lái)補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。

由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對(duì)都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動(dòng)也較小，送回風(fēng)管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問(wèn)題，往往這種方案的問(wèn)題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。

新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風(fēng)方案。

為了大大地節(jié)省運(yùn)行時(shí)的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風(fēng)量），由設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)的新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風(fēng)量50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機(jī)組進(jìn)行凈化和補(bǔ)充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組）和干盤管來(lái)解決潔凈室的潔凈度等級(jí)和溫度的微調(diào)節(jié)。

此種凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)相分離的送風(fēng)方案，不僅可節(jié)省運(yùn)行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機(jī)房面積，省掉了龐大的送、回風(fēng)管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風(fēng)方案又可分為：空調(diào)機(jī)組(AHU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)方案,新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加（FFU）方案；新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風(fēng)方案。

一、空調(diào)機(jī)組AHU(MAU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組（FFU）的凈化空調(diào)送風(fēng)方案：

此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負(fù)荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷）全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)的空調(diào)機(jī)組來(lái)負(fù)擔(dān)。此時(shí)，空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng)，但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證潔凈室潔凈度等級(jí)的凈化送風(fēng)量），它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度的恒定。

而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組（FFU）將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過(guò)濾來(lái)保證。此方案中應(yīng)該注意的是，F(xiàn)FU運(yùn)行過(guò)程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來(lái)承擔(dān)。此方案更適合用于在大面績(jī)非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。

其送風(fēng)原理圖和焓濕圖如下：

二、新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風(fēng)方案

此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來(lái)補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。

由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對(duì)都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動(dòng)也較小，送回風(fēng)管也比較短小；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問(wèn)題，往往這種方案的問(wèn)題都出在凝結(jié)水排放的處理上。

此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。

新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。

當(dāng)多個(gè)潔凈室中有若干個(gè)1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)等高凈化級(jí)別的垂直單向流潔凈室時(shí)，為了減少循環(huán)機(jī)組（RAU）的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面，此時(shí)循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量，以保證潔凈室的溫度、相對(duì)濕度和潔凈室的正壓，而占90％以上的絕大部分送風(fēng)量有設(shè)在潔凈室吊頂上的FFU來(lái)負(fù)擔(dān)，以保證潔凈室的高潔凈度級(jí)別。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

三、新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案

此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比線與相對(duì)濕度95%線交點(diǎn)以下，新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉，而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷，新風(fēng)機(jī)組要確保潔凈室所需要的相對(duì)濕度。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來(lái)補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過(guò)的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。

由新風(fēng)機(jī)組處理過(guò)的新風(fēng)用管道以最能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)。

FFU布置在潔凈室的吊頂上，與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng)FFU被高效過(guò)濾器過(guò)濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU的規(guī)格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風(fēng)速應(yīng)為≥0.45m/s，余壓應(yīng)≥120Pa，噪聲應(yīng)≤50dB(A)為好。FFU的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)可調(diào)，高效過(guò)濾器應(yīng)可更換。

干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應(yīng)為30~40Pa，循環(huán)風(fēng)通過(guò)干盤管的面風(fēng)速<2m/s，最好為1.5m/s。進(jìn)入干盤管冷水的進(jìn)水溫度應(yīng)高于潔凈室露點(diǎn)溫度2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運(yùn)行時(shí)還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應(yīng)有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。

此方案中，潔凈室的相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組（MAU）來(lái)保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來(lái)保證，潔凈室的潔凈度由FFU來(lái)保證。

這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風(fēng)方案，目前在我國(guó)和外國(guó)的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級(jí)的潔凈廠房中得以廣泛應(yīng)用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應(yīng)工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點(diǎn)。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進(jìn)步，F(xiàn)FU風(fēng)機(jī)的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價(jià)格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風(fēng)方案基本持平，但運(yùn)行費(fèi)卻大大節(jié)省。