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專業潔凈室凈化工程
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專業潔凈室凈化工程
設計、施工、維護
潔凈室等級和級別-潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度等級
潔凈室及相關受控環境第 1 部分 ：空氣潔凈度等級
1范圍
GB/T25915 的本部分劃分潔凈室及相關受控環境的空氣潔凈度等級僅依據其內的空氣懸浮粒子濃度，，，
該濃度系指粒徑大于或等于閾值（低限）粒徑的粒子總數，規定的闊值（低限）粒徑為 0. 1 μm-5 μm。本部未設立 0. 1μm-5 μm 規定粒徑以外粒子總數的潔凈度等級 。但可以用 U 描述符和 M 描述符，分別表述超微粒子 （5 μm）的總數。本部分不能用于描述空氣懸浮粒子的物理、化學、放射性或存活特性。
注 ：大于或等于某粒徑的粒子濃度實際分布一般難以預測，且通常是隨時間變化的。
2術語和定義
下列術語和定義適用于本文件 。
2. 1一般
2. 1.1
潔凈室cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控的房間 ，其建造和使用方式使房間內進入的 、產生的 、滯留的粒子最少，房間 內溫度、濕度、壓力等其他相關參數按要求受控 。
2. 1. 2
潔凈區clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間，其建造和使用方式使區內進入的 、產生的 、滯留的粒子最少 ，區 內溫度、濕度 、壓力等其他相關參數按要求受控 。
注 ：潔凈區可以是開放的或封閉的，可在也可不在潔凈室內 。
2. 1. 3
設施installation
所有相關構筑物 、空氣處理系統以及服務 、公用系統的潔凈室，或一個或數個這樣的潔凈區 。
2. 1. 4
潔凈度等級classification
潔凈度分組classification
以 ISO N 級表示的 、潔凈室或潔凈區內按空氣懸浮粒子濃度劃分的潔凈度水平（或規定 、確定該水 平的過程） 。潔凈度等級代表關注粒徑粒子的最大允許濃度（表示為每立方米空氣中的粒子個數） 。
注 1 ：濃度計算見 3. 2 的式(1） 。
注 2 ：本部分等級的范圍限于 ISO 1 級-ISO 9 級。
注 3 ：本部分的等級關注粒徑限于 0.1 μm 5 μm 范圍（較低閾值） 。指定閾值粒徑超出此范圍的空氣潔凈度 ，可以用 U 描述符和 M 描述符（見 2. 3. 1 和 2. 3. 2 ）描述和說明（但不分級） 。
注 4 : ISO 等級可帶小數，最小增量為 0.1，ISO 1. 1 級-ISO 8. 9 級。
注 5 ：潔凈度等級可適用于所有 3 種占用狀態
2. 2空氣懸浮粒子
2. 2. 1
粒子particle
其粒徑閾值（下限）在 0. 1 μm5 μm 范圍的 、累計的固體或液體物質 。
2. 2. 2
粒徑particle size
給定粒徑測量儀器給出的 、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑 。
注 2 離散粒子計數器給出的是當量光學直徑 。
2. 2. 3
粒子濃度particle concentration
單位體積空氣中粒子的個數 。
2. 2. 4
粒徑分布particle size distribution
粒子按粒徑大小累計得出的粒子濃度 。
2. 2. 5
超微粒子ultrafine particle
當量直徑小于 0. 1 μm 的粒子。
2. 2. 6
大粒子macroparticle
當量直徑大于 5 μm 的粒子。
2. 2. 7
纖維fiber
（長寬〉 比不小于 10 的粒子。
2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包括超微粒子在內的 、每立方米空氣粒子的實測或規定濃度 。
注 ：U描述符可以作為采樣點平均濃度的上限（或置信上限 ，該置信上限依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點數量而 定） 。不能用 U描述符確定空氣潔凈度等級 ，但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方米空氣中大粒子的實測或規定濃度 。M 描述符中的當量粒徑與測量方法有關 。
注 ：M 描述符可以作為采樣點平均濃度上限（或置信上限 ，該值依潔凈室或潔凈區性能評定采樣點數量而定） 。不 能用U描述符確定空氣潔凈度等級 ，但可以將其單獨或隨潔凈度等級引述 。
2. 4占用狀態
2. 4. 1
空態as-built
設施已建成并運行，但沒有生產設備 、材料和人員的狀態。
2. 4. 2
靜態at-rest
設施已建成 ，生產設備已安裝好并按需方與供方議定的條件運行 ，但沒有人員的狀態 。
2. 4. 3
動態operational
設施按規定方式運行 ，其內規定數量的人員按議定方式工作的狀態 。
2.5有關各方
2. 5. 1
需方customer
規定潔凈室或潔凈區具體要求的機構或其代理 。
2. 5. 2
供方supplier
使潔凈室或潔凈區達到規定要求的機構 。
3等級
3. 1占用狀態
潔凈室或潔凈區的潔凈度等級 ，應按一種或幾種占用狀態確定 ，即：“空態”、“靜態” 、“動態”（見 2. 的。
注 ：“空態”檢測適用于新建成或新改造的潔凈室或潔凈區 。完成了“空態”檢測后，應進行“靜態”或“動態”或這兩者的達級檢測 。
3. 2等級編號
空氣潔凈度等級以等級編號 N 表示 。每種關注粒徑 D 的最大允許粒子濃度 c. 由式(1） 確定 ：
式中
Cn 一一大于或等于關注粒徑的粒子最大允許濃度（以每立方米空氣中粒子的個數表示）， 將Cn 修 約為不超過 3 位有效數字的整數 ；
N 一ISO 等級的數字編號 ，最大不超過 9 。N 的各整數等級之間可以設定最小增量為 0. 1 的中 間等級；
D一一關注粒徑，單位為微米（ μm) ;
0. 1 一一常數，單位為微米（ μm） 。
表 1 給出了空氣潔凈度的整數級別及其對應的關注粒徑及以上的粒子允許濃度 。圖 A. 1（ 見
附錄 A）以圖解說明整數等級 。出現爭議時，應以式 (1）計算出的濃度 Cn 為準。
潔凈度等級標準表
3. 3等級的表達
表述潔凈室及潔凈區空氣的潔凈度 ，應包含以下內容 ：
a)以 ISO N級表示的等級 ；
b)等級相應的占用狀態 ；
c)等級的關注粒徑以及由式 (1） 確定的相應濃度 ，且每個關注粒徑閾值均在 0. 1 μm-5μm 范 圍內。
示例:
ISO 4 級；動態 關注粒徑O. 2 μm(2 370 個/m3）；1 μm(83 個個/m3)。
需方與供方雙方應商定濃度測量中所用的一個或多個關注粒徑 。
如果測量的關注粒徑不只一個，則相鄰兩粒徑中的大者〈如 D，） 與小者叫日 D，）之比不得小于 1. 5 倍，即：
4等級的證實
4. 1原理
根據需方與供方的協議 ，實施規定的檢測 ，并提供規定的檢測結果和檢測條件的文件 ，來驗證設施 符合需方規定的空氣潔凈度 (ISO 等級）要求 。
4. 2檢測
附錄 B 給出了達級驗證的基準檢測方法 。也可以使用其他準確度可比的方法 。如未指定或議定 其他檢測方法，則應使用基準檢測方法 。
達級檢測中應使用經校準的儀器 。
4. 3空氣懸浮粒子濃度限值
按 4. 2 完成檢測后，按附錄 C 中的公式計算粒子平均濃度和 95 % 置信上限（適用時） 。
按式（C. 1）計算出的關注粒徑［見 3. 3c）］的粒子平均濃度 ，不得超過按 3. 2 中式(1） 計算出的濃度 限值。
此外 ，若采樣點的數量不少于 2 且不多于 9，則按 c. 3 規定計算出的 95 % 置信上限，不得超過上面
計算的濃度限值 。
注 ：附錄 D給出了等級計算實例 。
粒子濃度用于判定與分級限值的一致性時 ，對所有關注粒徑的濃度測量都應采用 同一種方法。
4. 4檢測報告
以綜合報告的形式記錄并提交各潔凈室和潔凈區的檢測結果 ，報告中應聲明檢測結果是否達到規 定的空氣潔凈度等級 。
檢測報告應包括如下內容 ：
的檢測機構的名稱 、地址 、檢測日期 ；
b)本部分的國家標準編號 ，即 GB/T 25915. 1 - 2010 。
c)清楚標明所測潔凈室或潔凈區的具體位置（必要時以鄰近區域作參照），并標注所有采樣點的 具體坐標 ；
d)為潔凈室或潔凈區所規定的標準 ，包括 ISO 等級 ，相應的占用狀態，關注粒徑 ；
e)所用檢測方法的詳細說明，包括特殊的檢測條件以及與規定檢測方法的偏離之處；檢測儀器的規格型號，儀器最新的校準證書 ；
f)檢測結果，包括每個采樣點的坐標和粒子濃度數據 。
注 2 若按附錄 E 的說明表述了超微位子或大粒子的濃度量，則檢測報告中就應包含相應信息 。
附錄A
（資料性附錄）
潔凈度等級表 1 的圈示
圖 A. l 是表 1空氣潔凈度等級的圖示 ，僅起說明作用 。表 1的 ISO 等級在圖中以直線表示 ，直線代表關注粒徑閾值所對應的等級濃度限值 。這些限值是根據 3. 2 中的式(1） 計算得來 。而圖中的直線 只是等級限值的一種近似表示 ，不能以此確定限值，確定限值仍使用式 ） 。
圖中的實心點對應的是每個 ISO 等級粒徑閾值的最大和最小值 ，因此，等級線不能延伸至實心點 之外 。
等級線不代表潔凈室和潔凈區內粒徑的實際分布 。
附錄B
（規范性附錄） 采用光散射離散粒子計數器
測定粒子潔凈度等級
B. 1原理
使用光散射離散粒子計數器 ，在指定的采樣點，測定大于或等于關注粒徑的空氣懸浮粒子濃度 。
B. 2儀器要求
B. 2. 1粒子計數器
離散粒子計數器 CDPC） 是一種光散射測量裝置 ，能夠顯示或記錄空氣中離散粒子的數量和粒徑 ：具 有粒徑辨別力 ，可在相關潔凈度等級所涉及的粒徑范圍內測定粒子總濃度 ；并帶有一套合適的采樣 系統。
B. 2. 2儀器校準
儀器應具有有效的校準證書 ；校準頻度和校準方法應符合現行公認的標準和規范 。
B 3 預檢測條件
B. 3. 1檢測準備
檢測前 ，先驗證潔凈室或潔凈區整體運行的各個方面均正常元誤 ，符合性能要求 。 預檢測工作可包括如 z
a)風量或風速檢測 ；
b)空氣壓差檢測 ；
c)氣密性檢測 ；
d)已裝過濾器的檢漏。
B. 3. 2預檢測所用儀器的設置 按照制造商的說明設置并調準儀器 。
B. 4采樣
B. 4. 1確定采樣點位置
B. 4. 1. 1按式CB. 1） 求出最少采樣點數量 ：
B. 4. 1. 2
確保采樣點在整個潔凈室或潔凈區內均勻分布 ，并位于工作面高度 。 若需方規定了 附加的采樣點，應對新增采樣點的數目和位置做出規定 。 注 ：附加采樣點可位于按風險分析得出的關鍵位置 。
B. 4. 2確定各采樣點的單次采樣量
B. 4. 2. 1
若關注粒徑的最大粒子濃度處于指定 ISO 等級的濃度上限 ，則在每個采樣點要采集足以檢測出不 少于 20 顆粒子的空氣量。
由式
B. 4. 2. 2
每個采樣點的采樣量不得少于 2 L，采樣時間不得少于 1 min 。
B. 4. 3采樣規程
B. 4. 3. 1
按制造商的說明和儀器校準證書設置粒子計數器 CB. 2. 1) 。
B. 4. 3. 2
采樣探頭應指向氣流 。若采樣點處氣流方向未受控或不可預測（ 例如非單向流） ，則采樣探頭的進 氣口應垂直向上 。
B. 4. 3. 3
在每個采樣點按 B. 4. 2 確定的最小采樣量采樣 。
B. 4. 3. 4
當僅需要一個采樣點時 CB. 4. D ，則在該點最少進行三次采樣 。
B. 5記錄結果
B. 5. 1各采樣點的平均粒子濃度
B. 5. 1. 1
記錄下相關空氣潔凈度等級的每個關注粒徑（ 3. 3）粒子的單次采樣濃度 。
注 ：在計算95% 置信上限之前，應先考慮 B. 6. 1 的要求。
B. 5. 1. 2
當只有一個采樣點時 ，計算每個關注粒徑采樣數據
B. 5. 1. 3
當在一個采樣點上進行 2 次或 2 次以上的采樣時，按照 c. 2 中給出的規程 ，從各次采樣 CB. 5. 1. 1)
計算出每個關注粒徑的粒子平均濃度 ，并記錄結果 。
B. 5. 295% 置信上限（ UCL） 的計算要求
B. 5. 2. 1
當采樣點數量不只 1 個且不到 10 個時 ，按照 c. 3 中給出的規程 ，以所有各點的平均粒子濃 度
CB. 5. 1)計算總平均值 、標準差和 95 % 置信上限 。
B. 5. 2. 2
當采樣點只有 1個或多于9 個時 ，無需計算 95 % 置信上限 。
B. 6數據分析
B. 6. 1分級要求
若每個采樣點測得的粒子濃度平均值 ，以及適用時按 B. 5. 2 計算的 95 % 置信上限，均未超過按 3. 2
中式(1） 確定的濃度限值 ，則認為該潔凈室或潔凈區達到規定的空氣潔凈度等級 。 若檢測結果未能滿足規定的空氣潔凈度等級 ，可新增均勻分布的采樣點進行檢測 。重新計算結果
時，除了包含新采樣點的數據外 ，還應包括原有采樣點的所有數據 。（www..com）對包括新采樣點在內的數據進行的 重新計算，其結果是不可更改的 。
B. 6. 2異常值的處理
95 % 置信上限（ UCL) 的計算結果，可能未達到規定的 ISO 等級 。如果未達級是測量差錯（由于操 作差錯或設備不正常〉所致或是粒子濃度異常低（由于個別測點空氣異常潔凈） 而引起的單個非隨機異 常值所致，則該值可以不計 ，條件是z
a)重新計算時包括所有剩余采樣點的數據 z
b)計算中至少還有 3 個測量值 ；
c)計算中不計的測量值不得超過 1個 ；
d)記錄造成測量差錯或低粒子濃度的可疑原因 ，并得到供需雙方的認可 。
注 ：依所測潔凈設施的應用性質，各采樣點粒子濃度相當大的差異可能是合理的 ，甚至是有意而為 。
附錄C
（規范性附錄）
粒子濃度數據的統計處理
c. 1通則
統計分析中只考慮隨機誤差（精度不足） ，不考慮非隨機誤差（如，校準誤差造成的偏差） 。
